半導體被廣泛應用于制作電子、電器,也能夠用來制作半導體器件和集成電路的電子原件。那么在生產這些半導體時會產生一些有害氣體,這些有害氣體屬于高污染氣體,會對大氣造成嚴重的危害。因此,我們需要選用果殼活性炭來(lai)對這些(xie)危害氣體(ti)進(jin)行凈化處理。
在半導(dao)體生產(chan)(chan)工藝中對操作車(che)間(jian)的(de)(de)清潔(jie)度要(yao)求很高,而在半導(dao)體制造中所產(chan)(chan)生的(de)(de)廢(fei)氣(qi)排放具有(you)排氣(qi)量大、排放濃度小的(de)(de)特點。這些半導(dao)體在生產(chan)(chan)制做中所產(chan)(chan)生的(de)(de)廢(fei)氣(qi)排放以(yi)蒸(zheng)發為主,這些廢(fei)氣(qi)可(ke)分為四類:酸性廢(fei)氣(qi)、堿性廢(fei)氣(qi)、有(you)機廢(fei)氣(qi)和有(you)毒廢(fei)氣(qi),會對身體健(jian)康和大自然帶來(lai)不可(ke)估(gu)量的(de)(de)傷害,所以(yi)對這些廢(fei)氣(qi)處(chu)理不可(ke)忽(hu)視。
果殼活(huo)性炭(tan)具有(you)較強(qiang)的(de)(de)(de)吸附性和(he)催化性能,耐酸堿、耐熱、不(bu)溶(rong)于(yu)水和(he)有(you)機溶(rong)劑、易再生(sheng)等(deng)優點,對吸附半導(dao)體生(sheng)產(chan)中產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)廢氣有(you)很好的(de)(de)(de)作用。這些有(you)毒(du)、有(you)害氣體在經過(guo)裝置有(you)果殼活(huo)性炭(tan)的(de)(de)(de)廢氣處理設備時(shi),會被活(huo)性炭(tan)強(qiang)大(da)的(de)(de)(de)比(bi)表面積及多孔性結構牢牢的(de)(de)(de)鎖住吸附在活(huo)性炭(tan)內,通過(guo)果殼活(huo)性炭(tan)的(de)(de)(de)凈(jing)化,排放就可以達(da)到國家要求(qiu)的(de)(de)(de)凈(jing)化排放標準。
果(guo)殼活性炭(tan)具有(you)較(jiao)強的吸附性和催化性能(neng),原料(liao)充足且耐酸堿、耐熱、不溶于水和有(you)機溶劑、易再生(sheng)等優點(dian),在半導體生(sheng)產中(zhong)應用(yong)廣泛且效果(guo)顯(xian)著。